平面度的測量方法

平面度，是屬于形位公差中的一種，指物體表面具有的宏觀(guān)凹凸高度相對理想平面的偏差。在傳統的檢測方法中，平面度的測量方法通常有：塞規/塞尺測量法、液平面法、激光平面干涉儀測量法（平晶干涉法）、水平儀/數字水平儀測量法、以及打表測量法。

　　塞尺測量法，只需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時(shí)隨地進(jìn)行平面度的粗測。目前很多工廠(chǎng)仍使用該方法進(jìn)行檢測。由于其精度不高，常規zui薄塞尺為10um，檢測效率較低，結果不夠全面，只能檢測零件邊緣。

　　液平面法，基于連通器工作原理，適合測量連續或不連續的大平面的平面度，但測量時(shí)間長(cháng)，且對溫度敏感，僅適用于測量精度較低的平面。

　　激光平面干涉儀測量法，zui典型的用法是平晶干涉法。但主要于測量光潔的小平面的測量，如千分頭測量面，量規的工作面，光學(xué)透鏡。

    丹青公司聯(lián)合德國LAMTECH的推出非接觸激光平面度測量?jì)x，LAMTECH平面度快速測量?jì)x，采用掠入射光干涉原理，專(zhuān)注于高精密加工表面平面度快速測量評估, 廣泛應用于航空航天，汽車(chē)工業(yè)噴油嘴行業(yè)，泵、閥門(mén)密封件表面，以及光學(xué)工程，激光工程等領(lǐng)域

      德國LAMTECH平面度測量?jì)x快速測量平面度的測量方法，高效快速，即可以用于車(chē)間現場(chǎng)全檢測，也可以用于實(shí)驗室平面度測量研究。

　　水平儀測量法，廣泛用于工件表面的直線(xiàn)度和平面度測量。測量精度高、穩定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時(shí)需要反復挪動(dòng)儀器位置，記錄各測點(diǎn)的數據，費時(shí)、費力，調整時(shí)間長(cháng)，數據處理程序繁瑣。

　　打表測量法，典型應用為平板測微儀及三坐標儀，其中優(yōu)以三坐標儀為應用zui廣泛。測量時(shí)指示器在待測樣品上移動(dòng)，按選定的布點(diǎn)測取各測量點(diǎn)相對于測量基準的數據，再經(jīng)過(guò)數據處理評定出平面度誤差。但其效率較低，通常一個(gè)樣品需要幾分鐘，離15ppm的期望相差甚遠。